罗茨真空泵简介 一、罗茨真空泵的概念 罗茨式真空泵(简称罗茨泵)是利用两个8字形转子在泵壳中旋转而产生吸气和排气作用的。由于它在低压力范围内工作,气体分子自由程较大,气体通过微小缝隙的阻力很大,因而能获得较高的压缩比,可以作为增压真空泵使用。 罗茨式真空泵根据泵体结构可分为两类:一类为普通型,另一类为直排大气型。
二者区别除结构之外,主要是普通型罗茨泵不能单独把气体直接排入大气中去,需要和前级真空泵串联使用,被抽气体通过前级真空泵将气体排到大气中。而后者则可以直接将被抽气体排入大气。汉钟现有PS和PDR系列真空泵中的Booster机体就属于普通型罗茨泵。普通型罗茨泵又可分为一般型泵和带旁通阀型泵两种。
一般型泵的最大允许压差在2000Pa~10000Pa范围,而带旁通阀的压差仅限于2000Pa~4000Pa。当压差超过每一规格泵的规定值时,旁通阀就会自动顶开,泵出口出的气体经旁通阀返流入进口处,以使泵安全运行。因为罗茨泵的转子受力面积较大,在大压差情况下运行,会使泵的负载变的很大。汉钟的PS系列的Booster机体就属于一般型泵,而PDR系列的Booster机体则属于带旁通阀型泵。